UV 400 測(cè)溫儀詳細(xì)說(shuō)明
UV 400的前身TR 2100是*采用集成反射計(jì)(2001年)的高溫計(jì)，為使用光纖鏡頭和950 nm激光實(shí)時(shí)測(cè)量發(fā)射率建立了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。藍(lán)寶石光管傳感器和實(shí)時(shí)的黑體校準(zhǔn)源取得的研究進(jìn)展提供了完整的溫度測(cè)量解決方案。
UV 400和UVR 400系統(tǒng)是專門為GaN基MOCVD外延工藝開(kāi)發(fā)的下一代溫度傳感器。這些傳感器可以直接測(cè)量晶圓表面溫度，而非傳統(tǒng)的基座溫度。UVR 400較UV 400 增加了一個(gè)635 nm，0.5 kHz測(cè)量速度的反射率測(cè)量?jī)x，可測(cè)量沉積厚度.
這些系統(tǒng)正在為 LED 生產(chǎn)過(guò)程設(shè)定一個(gè)新的標(biāo)準(zhǔn)，其結(jié)果顯示工藝溫度和終產(chǎn)品波長(zhǎng)之間存在可靠的相關(guān)性.這種直接測(cè)量的方法可以更精確地控制晶片溫度，從而提高成品率
主要特點(diǎn)
使用紫外波段直接測(cè)量GaN層溫度;
使用脈沖光源實(shí)時(shí)快速測(cè)量發(fā)射率;
使用真正的光計(jì)數(shù)儀器將測(cè)量中的噪聲降至低;
防止由于延遲采樣(無(wú)快門打開(kāi)和關(guān)閉)而造成的數(shù)據(jù)偏差
測(cè)溫范圍：650 至 1300℃
重復(fù)精度 0.01 °C (see TN-828)
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