電子遷移率光譜儀長期數據穩定

　　AirSentry?II電子遷移率光譜儀用于檢測空氣分子級污染（AMC)，在監測到含酸類.胺類.氨以及氯化物氣體時提醒用戶。它具有ppt級的靈敏度，傳感器反應迅速.監測選擇性廣.性能穩定。AirSentryII傳感器配有中央控制軟件，可以輕松地采集分析數據。AirSentryII傳感器提供連續可追溯的數據，來快速回應污染源和污染事件。

　　特點

　　酸類和基底（胺類.氨以及氯化物）的高靈敏度檢測

　　使用點.多點式.移動式監測應用的通用產品配置

　　體積小，可放在任何位置

　　以太網，RS-232,4-20毫安輸出

　　優點

　　連續監測關鍵點

　　耐久可靠的數據收集.控制.分析

　　長期數據穩定性

　　每份測試成本

　　電子遷移率光譜儀應用

　　在蝕刻技術位置里的實時腐蝕監測

　　在關鍵的光刻系統內的實時胺類以及氨的監測

　　化學過濾器有效率的資格確認

　　遍及潔凈室以及生產工具里的污染源的追蹤和去除

　　前端開口片盒圓晶片存儲模塊內的污染分析

　　電子遷移率光譜儀如有需要歡迎訪問

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